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中國(guó)上海，2023年5月9日—— 近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備Preforma Uniflex? CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設(shè)備多年、在半導(dǎo)體薄膜沉積領(lǐng)域取得的新突破，也是實(shí)現(xiàn)公司業(yè)務(wù)多元化增長(zhǎng)的新動(dòng)能。
圖片注釋：中微公司12英寸低壓化學(xué)氣相沉積產(chǎn)品Preforma Uniflex? CW
作為中微公司自主研發(fā)的產(chǎn)出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD設(shè)備，Preforma Uniflex? CW可靈活配置多達(dá)五個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)腔（十個(gè)反應(yīng)臺(tái)），每個(gè)反應(yīng)腔可以同時(shí)加工兩片晶圓，在保證較低的生產(chǎn)成本和化學(xué)品消耗的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率。
Preforma Uniflex? CW, 作為中微公司自主研發(fā)的LPCVD設(shè)備，配備了完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的優(yōu)化混氣方案及加熱臺(tái), 具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調(diào)節(jié)靈活性，對(duì)于彎曲度較大的晶圓，它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力，可以滿足先進(jìn)邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應(yīng)用需求。
探索不息，創(chuàng)新不止。中微公司推出的Preforma Uniflex? CW是公司創(chuàng)新之路的又一里程碑。一直以來(lái)，中微公司踐行“四個(gè)十大”的企業(yè)文化，將產(chǎn)品開發(fā)的十大原則始終貫穿于產(chǎn)品開發(fā)、設(shè)計(jì)和制造的全過(guò)程，研發(fā)團(tuán)隊(duì)秉持為達(dá)到設(shè)備高性能和客戶嚴(yán)格要求而開發(fā)的理念，堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新、設(shè)備差異化和知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)。“這款LPCVD設(shè)備不僅擁有完整、自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，還創(chuàng)造了中微公司新設(shè)備研發(fā)速度的新紀(jì)錄。”中微公司集團(tuán)副總裁、LPCVD 產(chǎn)品部和公共平臺(tái)工程部總經(jīng)理陶珩說(shuō)：“自該款LPCVD設(shè)備研發(fā)立項(xiàng)以來(lái)，僅用不到半年時(shí)間，我們就完成了產(chǎn)品設(shè)計(jì)、生產(chǎn)樣機(jī)開發(fā)和實(shí)驗(yàn)室評(píng)價(jià)，目前已順利導(dǎo)入客戶端進(jìn)行生產(chǎn)線核準(zhǔn)。”
如今，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)已成為國(guó)民經(jīng)濟(jì)的兩大支柱之一，正在徹底改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)和生活方式。中微公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理尹志堯博士表示，“數(shù)碼強(qiáng)，則國(guó)強(qiáng)；數(shù)碼弱，則國(guó)弱。半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備正是數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基石，是發(fā)展集成電路和數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵。工欲善其事，必先利其器，加工微米及納米級(jí)微觀器件的設(shè)備對(duì)發(fā)展集成電路與微器件工業(yè)、促進(jìn)數(shù)碼產(chǎn)業(yè)發(fā)展至關(guān)重要。此次我們推出LPCVD新產(chǎn)品，在等離子體刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步拓展了公司的產(chǎn)品線布局，也增強(qiáng)了半導(dǎo)體設(shè)備的自主可控性。未來(lái)公司也將繼續(xù)瞄準(zhǔn)世界科技前沿，堅(jiān)持三維發(fā)展戰(zhàn)略，推出更多自主設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體設(shè)備，為促進(jìn)數(shù)碼產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。”
自2004年成立以來(lái)，中微公司致力于開發(fā)和提供具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的微觀加工的高端設(shè)備，現(xiàn)已發(fā)展成為國(guó)內(nèi)高端微觀加工設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)之一。未來(lái)，公司將繼續(xù)打造更多具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的技術(shù)創(chuàng)新與差異化產(chǎn)品，為客戶和市場(chǎng)提供性能優(yōu)越、生產(chǎn)效率高和性價(jià)比高的設(shè)備解決方案。
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